第623章 掩模对准曝光设备(1 / 2)
“我们公司之前提出的事情?”
听到这位白大褂教授的话,楚扬不由微微一愣,一时没有明白对方所说的是指什么事情。
一旁的迈克尔则是眼中一亮,
“老师,您说的难道是掩模对准曝光设备?”
掩模对准曝光设备?
听到这个有些古怪的名称,楚扬先是一愣,然后突然间想到了什么,心中直接猛地一跳,不可置信地看向这位禁欲系美女教授,
“奥得蒙教授,您说的难道……难道是光刻机??”
他隐约记得,光刻机的正规学名好像就是“掩模对准曝光设备”!
因为所谓“光刻”,便是在硅片的基底表面覆盖一层具有高度光敏感性的光刻胶,再用特定光线透过包含目标图案信息的掩模板照射在基底表面,被光线照射到的光刻胶则会发生反应,形成掩膜板上设定好的精密线路,如同刻录效果。
所以这种根据掩模板,使用特殊光线对硅片进行曝光“刻录”的设备,便叫做“掩模对准曝光设备”,俗称光刻机!
在楚扬不可置信的目光之中,白大褂女教授微微点头,
“嗯,两台光刻机主体设备前两天已经组装完成,其他配套组件也已经在测试……”
“如果不出什么意外的话,明天上午这两套设备便可以完成测试组装,然后正常投入使用。”
看着这位禁欲系女教授如此轻描淡写的平淡表情,就仿佛在说着一件十分微不足道的事情一样,楚扬无比艰难地咽了口唾沫。
这可是光刻机啊,最近十几年甚至几十年掣肘整个华夏半导体发展的关键!
这才短短几个月的时间,对方就如此轻松地搞出来了?
这怎么可能??
即便对方是之前全球最顶级的光学研发团队之一,楚扬也很难相信这件事情!
“奥……奥得蒙教授,您刚刚所说的这两套光刻机设备,不知道能够达到的生产制程标准是?”
在他看来,如果真的能够在这么短的时间内完成,那估计是早就被市场淘汰的技术设备了。
可是这位禁欲系美女教授的回答却让他再次呆立当场!
“28n以上都没有问题。”
“这……”
听到对方口中的淡淡声音,楚扬的喉咙动了动,呼吸都变得有些急促起来。
虽然知道这件事情几乎不可能,但直觉又告诉他,这个禁欲系女教授说的应该是真的。
看到楚扬的神色,迈克尔微笑着解释道:
“楚总可能有所不知,对于老师的团队来说,组装一套使用老旧技术的光刻系统设备并算不了什么……”
“老旧技术??”
楚扬一脸愕然。
迈克尔点了点头,
“没错,DUV(深紫外光线)光刻技术对于老师的团队来说,确实已经算是过时的技术了……”
白大褂女教授也是淡淡道:
“迈克尔说的没错,可能想要再进一步突破很难,但如果只是如今已经推向市场的28n光刻机设备,其中并没有什么技术难度,更何况是在拥有如此完善实验室的基础上。”
“楚总可能并不知道,目前爱斯麦尔那边应该已经能够生产出14纳米技术的光刻机设备了,只是根据他们的市场计划,这种先进技术的产品需要等到几年后再推向市场而已……”
“只是DUV深紫外光技术最多仅能达到20纳米左右的精度,想要突破到20纳米以内,目前只有采用EUV极紫外光线技术,而这项技术我们团队暂时还没有突破……”
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