第三百三十六章 风向变了（2 / 9）

nbsp;  丁成军对等效七纳米工艺的时间表，表现出来了极大的自信，这是基于梁松教授为核心的工艺研发团队来带的自信。

    “我们已经完成了四重曝光的基本理论以及工艺流程，就等着用这一批光刻机进行下一步阶段的各项测试工作了。”

    “等第一台NXT1980光刻机到货后，我们就会使用这台光刻机进行前期的技术测试，验证工作。”

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    丁成军此时，又指着第二十五厂的另外一个庞大厂房道：“这是我们第二十五厂的第二产线，基于扶持国产设备的缘故，我们的第二产线上将会尽可能采用国产设备，哪怕为此付出一些生产成本的上涨！”

    “第二产线上，核心设备包括海湾科技正在研发的HDUV-600型光刻机，此外还包括辅助使用的HDUV-500型号光刻机以及HKRF-34光刻机等，同时也包括后道光刻机，蚀刻机以及离子注入机等核心设备，只要海湾科技有的，技术指标能够达到要求的，我们都会使用！”

    “该产线的进度表也和第一产线类似，虽然核心的HDUV-600光刻机到货会晚一些，不过问题不大，应该也能够在后年的第二季度完成量产化。”

    “只不过该产线的生产效率要低一些，成本也会更高一些！”

    “生产效率上，还需要海湾科技继续努力了！”

    徐申学一边听着，一边看着手中的技术报告。

    两条等效七纳米工艺的产线，一条是清一色进口，而另外一条则是国产和进口设备混搭。

    其他的都还好，但是在光刻机领域还是可以看到明显的差距。

    这个时候，跟着徐申学一起过来考察的海湾科技的CEO王道林道：“我们的HDUV-600型光刻机和ASML的NXT1980光刻机在核心的三大硬性指标上都是一样的。”

    “分辨率都是38纳米，数值孔径一点三五，套刻精度都是二点五纳米。”

    “这三大核心指标也是做等效七纳米工艺的硬性指标，少一个都不行。”

    “不过除了这三个核心指标外，还有一个指标上我们的HUDV-600光刻机就存在一些差距了，那就是WPH，即每小时处理晶圆片的数量。”

    “这个数据越大，光刻机单位时间内的产量就越大，产量越大，生产效率越高！”

    “作为对比，ASML的NXT1980光刻机，其WPH是二百七十五片。”

    “我们的HDUV-600光刻机的WPH，设计指标差一些，只有两百四十五片。”

    徐申学听罢：“这差距不小啊，回头落到生产