第326章 出题与解题(5 / 7)
林燃在他们看来,那更是无所不能。
大家那是相当期待。
接待他们的是佳能NIL项目的首席工程师,铃木先生。
“陈博士,各位专家,欢迎来到宇都宫。”铃木用流利的英语说,“根据我们政府间的协议,在接下来的三个月里,我们将向各位全面展示Canon FPA-1200NZ2C纳米压印光刻机的操作流程、维护保养以及工艺参数设定。”
在进入巨大的超净车间前,一位不请自来的客人加入了他们。
“各位好,我是大卫·戴维森,”一个穿着KLA公司制服的阿美莉卡白人微笑着伸出手,“我是KLA派来协助佳能,确保我们的SpectraShape 11光学检测系统与NIL设备完美集成的技术顾问,很高兴能与各位共事。”
陈磊与他握了握手,心中警铃大作。
KLA是美国公司,是半导体良率控制的命脉。
一个技术顾问出现在这里,以陈磊在阿美莉卡工作的经历来看,这绝对不是什么巧合。
进入超净车间,那台FPA-1200NZ2C就静静地安放在那里。
它不像ASML的EUV光刻机那样如同一个巨大而笨重的怪兽,反而像一台充满未来感的医疗设备。
铃木的讲解堪称慷慨。
他详细展示了NIL设备的工作流程:
他展示了设备是如何像打印机一样,精准地将纳米级的树脂液滴喷涂在300mm的硅晶圆上,平整度误差控制在0.1纳米以内。
他们看到机械臂是如何以微米级的精度,将一块石英模板覆盖在晶圆上,并在真空环境下进行物理接触,将电路图案盖章上去。
整个压印过程在几秒钟内完成,通过紫外光照射,树脂迅速固化,电路图案被完美复刻。
一切看起来都那么简单、优雅、高效。
晚上回到酒店后,华国团队的一位相对年轻工程师激动地对陈磊说:“陈老师,这简直是降维打击!原理这么简单,成本这么低!如果能解决.”
陈磊没有说话,他的眉头越皱越紧,林总真的无所不能到,能够解决整个阿美莉卡半导体研发联盟加在一起都没有办法解决的问题吗?
人类能做到这点吗?
佳能的NIL设备是2023年出货的,原本在2025年就要开始正式进入生产环节,要生产的还不是复杂的逻辑芯片,只是基础的NAND闪存芯片而已。
但即便
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