第1225章（1 / 2）



“如果我猜的没错，你们目前研究的方向，氧化镓的衬底材料是β-Ga�6�0O�6�1，β相氧化镓对吧？”

“你这话说的，氧化镓衬底材料当然是用β-Ga�6�0O�6�1最好了。”

林仙儿皱眉道，“怎么？难道你们公司不是吗？”

“也算是，也算不是。”

李涵笑道，“β-Ga�6�0O�6�1衬底是氧化镓最稳定的晶型（热力学稳定相），可直接作为衬底使用，无需依赖其他材料。其制备技术最成熟，通过垂直布里奇曼法（VB法）或导模法（EFG法）可直接生长出大尺寸单晶010衬底（目前已量产  8英寸），是氧化镓雷达器件的主流选择。”

“这个衬底的核心优势是禁带宽度  ，击穿电场  8MV/cm，适合制造高功率器件，且与氧化镓外延层的晶格匹配度接近  100%（同质外延），缺陷密度低（＜1×10�6�7/cm�0�5）。”

“但是，最稳定的β-Ga�6�0O�6�1衬底，往往意味着其他方面的欠缺。β-Ga�6�0O�6�1材料衬底确实有很多优点，但最大的缺点就是散热。”

“如果散热搞不好，无论β-Ga�6�0O�6�1衬底有多么的稳定，那也只是空中楼阁，说塌就塌。”

许大年认可的点头道，“李总，看来您确实对雷达这方面有研究，毫无疑问，衬底散热是目前世界性难题，氧化镓雷达为什么这么久都进展不大，有一个原因就是β-Ga�6�0O�6�1材料衬底散热性能差，很容易烧坏出现故障。”

林仙儿这时不屑道，“这些问题我们都清楚，我们就是想要解决β-Ga�6�0O�6�1衬底的散热问题，才来看看有没有什么新的办法。”

李涵笑道，“实际上，我们在β-Ga�6�0O�6�1衬底材料上也吃过亏，花费了大量时间用在研发这款衬底上面。”

听见这话，许大年有些惊讶道，“难道你们用了其他材料，才攻克了这一难题？”

“也对，也不对。我不是说了，我们设计了三套衬底。”

李涵想了想道，“除了其他两套衬底材料外，β-Ga�6�0O�6�1也是其中衬底的关键基础材料。”

“也就是说，其他两套衬底，是用的其他材料为基础？”

“对。”

“不可能！β-Ga�6�0O�6�1已经是最稳定的材料，其他材料更不稳定，你们怎么做到的？”

“我们肯定是有我们的技术水平，通过不懈努力做到的。不管你信不信，事实摆在那。”

林仙儿还想反驳，旁边的许大年拉住她，朝李涵道，“那么李总，其他材料先不谈，我就想问问，β-Ga�6�0O�6�1材料你们是如何做出合格衬底散热还达标的？”

“很简单，用复合衬底。”李涵直接道，“我也不卖关子了，开门见山的告诉你们吧，我们采用了复合的路子，通过β-Ga�6�0O�6�1衬底+金刚石复合外延薄膜的混合结构，解决了β-Ga�6�0O�6�1材料衬底的散热问题。”

“β-Ga�6�0O�6�1材料不耐热但拥有高功率稳定的特点，金刚石材料则具有高散热，两者结合起到了1+1＞2的效果。”

其实在系统给予李涵的知识库中，也有光β-Ga�6�0O�6�1材料所制作衬底达到散热要求的制造工艺。

但那仅属于初级氧化镓雷达技术，不仅成品率低，还要限制大功率以免产生高温高热，所以他干脆把后一代复合材料衬底直接运用。

这话一出，林仙儿和许大年都傻眼了。

“复合衬底？开，开什么玩笑……”林仙儿难以置信道，“这，这需要多高超的技术啊！我知道你说的这个技术，就是β-Ga�6�0O�6�1做衬底，然