第225章 当大喜之日遭遇“光刻胶断供”(2 / 2)
的工信部司长、中科院化学所所长、以及国内最大的光刻胶企业——南大光电的董事长。
“情况大家都清楚了,”工信部司长开门见山,“日本JSR的光刻胶,最多撑两周。两周后,中芯国际的产线就得停。停了,不只是海思的芯片做不出来,是所有用中芯国际工艺的芯片都做不出来。这个责任,我们谁都负不起。”
中芯国际CEO王宁国——一个在美国干过二十年的技术专家——脸色很难看:“司长,不是我们不想用国产,是国产确实不行。我们测试过南大光电的光刻胶,用在微米工艺上还行,但微米分辨率就不够,到了微米根本不能用。图形边缘粗糙,缺陷多,良率会掉到30%以下。”
南大光电的董事长老李——一个六十多岁、头发花白的教授型企业家——站起来,声音有些激动:“王总,你说得对,我们现在的产品确实达不到要求。但你知道为什么吗?因为我们没有测试条件!微米、微米的光刻机,全国就中芯国际有。你们不给我们试,我们怎么改进?”
“不是不给试,是试一次成本太高,”王宁国苦笑,“光刻机开一次机,光耗材就几十万。用不成熟的光刻胶,万一把光刻机镜头污染了,维修费上千万。这个风险,我们担不起。”
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